二次电子发射系数测试系统(SEY)定制

SEY设备用于导体或介质材料二次电子发射系数的测试。由于涉及到微弱电信号的探测和捕捉,该设备结构复杂,测试的灵敏度和重复性要求较高,目前国外只有少数几家公司可以研制并生产。为打破垄断,雷欧仪器与航天5院某所合作,研制开发了具有自主知识产权,专用于导体和介质材料二次电子发射系数分析测试的整套解决方案。


LEO 二次电子发射系数测试系统(SEY)
LEO 二次电子发射系数测试系统(SEY)


LEO设计特点如下:


  • 三层栅极半球型收集器,可测试总二次电子发射系数和背散射二次电子发射系数
  • 栅网透过率大于80%,收集效率高
  • 电子枪能量从50 eV到5 KeV,并可扩展到更高能量
  • 具备脉冲信号测量功能,可测试所有材料
  • 样品台可倾斜,可测试不同入射角度的情况



常州雷欧仪器有限公司

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